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真空配管部品
各種規格の真空配管部品です。
●ISO-KF（NW）
真空配管部品
●ISO-LF真空配管部品
●ICFフランジ
●ICF配管部品
●ビューポート -
真空ポンプ
低真空から超高真空までの真空ポンプです。
●ロータリーポンプ
●ダイアフラムポンプ
●スクロールポンプ
●ルーツポンプ
●ターボ分子ポンプ
●イオンポンプ
●チタンサブリメー
ションポンプ
●NEGポンプ
●油拡散ポンプ -
真空計側機器
チャンバー内の真空計測用機器です。
●真空計
低真空から高真空までの
各種真空計です。
●四重極型質量分析計 -
真空バルブ
ICF及びISO-KFの各種真空バルブです。
●アングルバルブ
●インラインバルブ
●オールメタルアングル
バルブ
●バリアブルリークバルブ -
サンプル駆動機構
サンプル導入用の各種駆動機構です。
●回転導入機
●直線導入機
●中空型回転導入機
●中空型回転導入機
●トランスファーロッド
●ウォーブルスティック
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電流導入端子
真空内に電流を導入する各種フィードスルーです。
●マルチピンフィード
スルー
●パワーフィードスルー
●同軸フィードスルー
●熱電対フィードスルー -
真空部品
各種真空部品です。
●トールシール
●バックシール
●表面分析用
コンポーネント
●蒸着用
コンポーネント -
真空装置
真空装置の製作例です。
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その他
●チャンバー照射用
LEDライト
●システムラック
●フレームラック
●オープンラック
●グローブボックス -
真空ポンプ修理
各種真空ポンプの修理承ります。
●ロータリーポンプ
●ドライポンプ
●ターボ分子ポンプ
●油拡散ポンプ
●イオンポンプ