真空装置製作例

イオントラップ装置

真空中で生成されたイオンを作動排気及び４重極により捕捉・蓄積するシステムです。

顕微光電子分光用微動ステージ

ナノメートルオーダーで位置決めが可能なPEEM用ステージです。

PEEM用サンプルホルダー

加熱・冷却・バイアス電圧印加が可能な
サンプルホルダーです。

金属窒化物生成装置

サンプル上に Na-N 膜を堆積させる装置です。

プレパレーションチャンバーシステム

チャンバーに排気系・駆動系・真空計を組み合わせたシステムです。

結晶引上げ装置

炉を上昇させて結晶を作成するタイプの結晶引上げ装置です。

質量分析装置

四十極型質量分析計を使用した
質量分析装置です。

排気ユニット

架台にターボ分子ポンプ・粗引きポンプ・真空計
を組み合わせた排気ユニットです。