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低真空用ポンプ
小型～大型の低真空用ポンプです。
ロータリーポンプ・ルーツポンプ
スクロールポンプ・ダイアフラムポンプがあります。
●エドワーズ社
●ファイファー社
●ブッシュ社
●ライボルト社
●アジレント社 -
ターボ分子ポンプ
小型～大型のターボ分子ポンプです
セラミックベアリング型及び磁気浮上型があります。
●エドワーズ社
●ファイファー社
●ライボルト社
●アジレント社 -
ターボ分子ポンプ排気ユニット
小型～中型のターボ分子ポンプと
粗引きポンプを組み合わせた排気ユニットです。
●エドワーズ社
●ファイファー社
●アジレント社
●ライボルト社 -
超高真空用ポンプ
超高真空用イオンポンプ・チタンサブリメーションポンプ・NEGポンプ・油拡散ポンプです。
●ガンマバキュウム社
●アジレント社