小型~大型のセラミックベアリング型ターボ分子ポンプ及び磁気浮上型ターボ分子ポンプです。
それぞれのタイプで、下記のようなメリット・デメリットがあります。
セラミックベアリング型
●オイルフリー
●メンテナンスフリー
●価格が安い
●ロードロック等、頻繁に真空・大気を繰り返す場合に適している
磁気浮上型
●オイルフリー
●メンテナンスフリー
●回転体が浮上して回転するので振動が少ない
●価格が高い
●加速器等常時稼働させる場合に適している
●排気速度の大型化が可能