ターボ分子ポンプ

小型~大型のセラミックベアリング型ターボ分子ポンプ及び磁気浮上型ターボ分子ポンプです。
それぞれのタイプで、下記のようなメリット・デメリットがあります。

セラミックベアリング型
 ●オイルフリー
 ●メンテナンスフリー
 ●価格が安い
 ●ロードロック等、頻繁に真空・大気を繰り返す場合に適している

磁気浮上型
 ●オイルフリー
 ●メンテナンスフリー
 ●回転体が浮上して回転するので振動が少ない
 ●価格が高い
 ●加速器等常時稼働させる場合に適している
 ●排気速度の大型化が可能