小型~中型のロータリーポンプ及びドライポンプです。
それぞれのポンプで下記の様なメリット・デメリットがあります。
ロータリーポンプ
●価格が安価
●オイルを使用しているため、オイルミストの発生及び真空内へのオイル拡散の可能性がある
スクロールポンプ(ドライポンプ)
●1回目のメンテナンス(2.5年)はセルフメンテナンスが可能なため、メンテナンス費用が安価
●チップシールの摩耗粉が発生する
ルーツポンプ(ドライポンプ)
●非接触型ポンプのため、コンタミが発生しない
●価格が高い
ダイアフラムポンプ(ドライポンプ)
●価格が安価
●到達圧力が高い