低真空用ポンプ

小型~中型のロータリーポンプ及びドライポンプです。
それぞれのポンプで下記の様なメリット・デメリットがあります。

ロータリーポンプ
 ●価格が安価
 ●オイルを使用しているため、オイルミストの発生及び真空内へのオイル拡散の可能性がある

スクロールポンプ(ドライポンプ)
 ●1回目のメンテナンス(2.5年)はセルフメンテナンスが可能なため、メンテナンス費用が安価
 ●チップシールの摩耗粉が発生する

ルーツポンプ(ドライポンプ)
 ●非接触型ポンプのため、コンタミが発生しない
 ●価格が高い

ダイアフラムポンプ(ドライポンプ)
 ●価格が安価
 ●到達圧力が高い