真空装置製作例
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イオントラップ装置
真空中で生成されたイオンを作動排気及び4重極により捕捉・蓄積するシステムです。
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顕微光電子分光用微動ステージ
ナノメートルオーダーで位置決めが可能なPEEM用ステージです。
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PEEM用サンプルホルダー
加熱・冷却・バイアス電圧印加が可能な
サンプルホルダーです。 -
金属窒化物生成装置
サンプル上に Na-N 膜を堆積させる装置です。
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プレパレーションチャンバーシステム
チャンバーに排気系・駆動系・真空計を組み合わせたシステムです。
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結晶引上げ装置
炉を上昇させて結晶を作成するタイプの結晶引上げ装置です。
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質量分析装置
四十極型質量分析計を使用した
質量分析装置です。 -
排気ユニット
架台にターボ分子ポンプ・粗引きポンプ・真空計
を組み合わせた排気ユニットです。